高(gao)純(chun)鎢濺射(she)靶(ba)材(cai) 高(gao)純鎢濺(jian)射靶(ba)材(cai)可用于製作(zuo)半(ban)導體芯(xin)片(pian)層(ceng)間通(tong)孔(kong)（Via）咊接(jie)觸(chu)孔(kong)（Contact）的填(tian)充(chong)物(wu)，即鎢(wu)塞(sai)(WPlug)。牌(pai)號(hao)純(chun)度(wt%)密(mi)度(%)晶粒(li)度(μm)尺(chi)寸(max.mm)麤(cu)糙(cao)度(du)RaHW4N599.995≥19.1850?450×10≤1.6HW5N99.9
高(gao)純鎢濺(jian)射靶材
高(gao)純(chun)鎢(wu)濺(jian)射(she)靶材(cai)可用于(yu)製作(zuo)半導體(ti)芯(xin)片層間(jian)通孔（Via）咊接(jie)觸(chu)孔(kong)（Contact）的填充物(wu)，即(ji)鎢(wu)塞(sai)(WPlug)。
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牌號(hao) |
純(chun)度(wt%) |
密(mi)度(du)(%) |
晶粒度(μm) |
尺寸(cun)(max.mm) |
麤糙(cao)度(du)Ra |
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HW4N5 |
99.995 |
≥19.18 |
50 |
?450×10 |
≤1.6 |
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HW5N |
99.999 |
≥19.18 |
50 |
?450×10 |
≤1.6 |
熱線電(dian)話
18391871912
上(shang)班(ban)時間(jian)
週(zhou)一(yi)到週(zhou)五(wu)
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